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自動(dòng)導(dǎo)向車
自動(dòng)化系統(tǒng)
工業(yè)機(jī)器人
特種機(jī)器人
服務(wù)機(jī)器人
零部件高性能專用搬運(yùn)機(jī)器人
用于半導(dǎo)體和電子行業(yè)
川崎提供了業(yè)界領(lǐng)先的全系列半導(dǎo)體和電子搬運(yùn)機(jī)器人。這些機(jī)器人是專為在無(wú)塵室中應(yīng)用而制造的，包括ISO 1級(jí)。速度、準(zhǔn)確度以及伸展范圍使這些機(jī)器人適合搬運(yùn)精密的半導(dǎo)體晶圓、LCD面板、有機(jī)EL，以及太陽(yáng)能電池板。
NT系列無(wú)塵機(jī)器人
用于半導(dǎo)體、有機(jī)EL、LCD面板、太陽(yáng)能面板。長(zhǎng)伸展距離水平手臂。
NT系列無(wú)塵機(jī)器人設(shè)計(jì)的目的是讓一個(gè)機(jī)器人可以伸展開(kāi)來(lái)管護(hù)多達(dá)四個(gè)FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設(shè)計(jì)，以400晶片每小時(shí)（WPH）的速率來(lái)搬運(yùn)300mm或450mm晶圓，而沒(méi)有使用校準(zhǔn)器。
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