半導體晶圓廠晶圓載具(FOUP,FOSB,POD,RETICLE POD,)空中自動傳送設備
由彌費自主研發(fā)生產,通過彌費自主研發(fā)的物料調度軟件系統(tǒng)MSTC控制,從而完成物料(Pod、Cassette、Foup……)從A站點到B站點的自動傳送過程。遵循半導體設備標準通訊協(xié)議,包括SEMI E82、SEMI E84、SEMI E99等,使其易接入半導體工廠的上層系統(tǒng)來實現(xiàn)數(shù)據交互,達到SEMI的標準。