半導體晶圓廠晶圓載具(FOUP,FOSB,POD,RETICLE POD, FRAME CASSETTE)地面自動傳送設備
協(xié)作式機器人用于半導體潔凈室內(nèi)區(qū)域間各生產(chǎn)設備站點與存儲設備間晶圓載具的傳送,適合使用在人工搬運且重復性高的區(qū)域。使用協(xié)作式機器人可重新布局工作環(huán)境,實現(xiàn)區(qū)域自動化——物料自動搬運、自動上下料等功能,減少操作工數(shù)量,降低人力成本,減少環(huán)境污染,提高產(chǎn)品良率。








