機(jī)器人和設(shè)計(jì)的真空機(jī)器人用于真空環(huán)境的1E-6Pa。它有一個(gè)用于所有軸的伺服電機(jī),并使用磁性流體密封。此外,旋轉(zhuǎn)直徑最小化,延伸部分最大化。