機器人和設(shè)計的LED WTR是一種專門用于LED晶圓處理的機器人,可以高速和精確地轉(zhuǎn)移藍(lán)寶石晶圓(2“~6”)。最小的旋轉(zhuǎn)直徑允許縮小整個設(shè)備的尺寸并最大限度地提高空間效率??筛鶕?jù)要求定制。