
OS Tester
用于TFT LCD生產(chǎn)Array段檢查基板電路斷路/短路的高精度檢測設(shè)備
使用先進(jìn)的非接觸技術(shù),超過60臺的業(yè)績。
產(chǎn)品特點:
適用對象:TFT-LCD、TP、LTPS、OLED;
可檢測缺陷:Gate/Cs/Data open/short/cross short;
即時在線檢測;
模塊化設(shè)計,標(biāo)準(zhǔn)化CIM通訊軟件。
核心技術(shù):
多軸高精度運(yùn)動控制技術(shù);
非接觸式檢測技術(shù);
高精密一次全面檢出技術(shù);
高精度精密加工、組裝、調(diào)試調(diào)試。
性能參數(shù):
缺陷檢出率可高達(dá)99%;
26軸高精度運(yùn)動控制, 各軸的重復(fù)定位精度達(dá)到5微米;
單軸移動速度達(dá)到800mm/s;
檢測傳感器與玻璃之間的間隙在100微米以內(nèi);
可測試的電子線路最小寬度可達(dá)到2微米;
相鄰電子線路之間的間距最小可以達(dá)到28微米;
可檢測基板最薄0.4mm。








