Sorter( 分揀系統(tǒng))主要應(yīng)用于晶圓制造過程中的自動分揀
產(chǎn)品特點:
復(fù)合SEMI 標準;
高潔凈度、高安全性、高精度控制;
提供定制化服務(wù);
2~4 接口,緊湊型封口;
可選功能的模塊化設(shè)計;
核心技術(shù):
高精度的處理、裝配和檢測;
傳輸振動抑制控制;
高潔凈度、高安全性、高精度控制。