復(fù)合移動機器人安全、精準(zhǔn)、穩(wěn)定優(yōu)艾智合是怎么做到的？

晶圓搬運機器人AMR+

晶圓搬運機器人OW8，是優(yōu)艾智合針對半導(dǎo)體上游晶圓生產(chǎn)打造的兼具物料移載及自動上下料的復(fù)合移動機器人，擁有適配精密生產(chǎn)的超高性能，保障晶圓安全穩(wěn)定流轉(zhuǎn)。

適配精密生產(chǎn)的超強性能

半導(dǎo)體精密的生產(chǎn)條件對移動機器人提出了極高的要求。首先，由于行業(yè)特性，移動機器人自身的潔凈度等級至少需要達到CLASS100。其次，晶圓片昂貴易碎，這就要求移動機器人在搬運、存放晶圓盒時必須做到精準(zhǔn)和穩(wěn)定。此外，半導(dǎo)體生產(chǎn)工序繁多、設(shè)備布局集中，移動機器人在各工序之間頻繁、重復(fù)地進行轉(zhuǎn)運工作，就需要機器人擁有足夠穩(wěn)定的運行速度以及精確到毫米級別的定位精度。在歷時兩年的場景調(diào)研和產(chǎn)品打磨后，優(yōu)艾智合推出了整體性能業(yè)內(nèi)最優(yōu)水平的晶圓盒搬運機器人——OW系列。

作為優(yōu)艾智合軟硬一體解決方案集大成者，OW系列可滿足CLASS-1潔凈車間等級要求，正常搬運時振動值在0.2G以內(nèi)，優(yōu)于國際SEMI標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的0.5G，有效避免搬運過程中產(chǎn)生振動導(dǎo)致裂片，保障晶圓穩(wěn)定安全運轉(zhuǎn)。OW系列的研發(fā)與推出，歷經(jīng)2年的充分場景認(rèn)證和產(chǎn)品打磨。半導(dǎo)體專家團隊在客戶現(xiàn)場充分調(diào)研驗證，細(xì)化可能涉及到的如避振、安全板塊等功能，打造出對應(yīng)的樣機產(chǎn)品，并進行不斷地迭代升級，在場景與產(chǎn)品性能中找到最佳平衡點，既在實驗室進行充分的實驗，也在3C等類似行業(yè)進行產(chǎn)品的驗證，在長達2年后的多方驗證后，優(yōu)艾智合的OW系列晶圓搬運機器人產(chǎn)品才正式在客戶工廠落地。

多重防護保障晶圓安全穩(wěn)定流轉(zhuǎn)

將移動機器人結(jié)合半導(dǎo)體場景做到極致性能，不是一件易事。首先要保障晶圓盒抓取和上下料的絕對精準(zhǔn)。OW系列在機械臂的末端執(zhí)行部分搭配超聲波傳感器、3D視覺、在位檢測器、儲位鎖等多種傳感器，多重感知防護保證抓取作業(yè)的穩(wěn)定。

安全精準(zhǔn)

超聲波傳感器 靈敏度高、穿透力強、受環(huán)境影響弱，有效防止抓取疊料產(chǎn)生的晶圓盒磕碰的情況，同時檢測人工搶料的情況。視覺定位算法通過定位補償策略，保障晶圓盒放入料口時與loadport的方向絕對平行，保障晶圓盒與設(shè)備之間的安全距離，避免因放入角度不恰當(dāng)、狹小環(huán)境等因素導(dǎo)致設(shè)備與晶圓盒產(chǎn)生碰撞的風(fēng)險。在位檢測傳感器夾爪末端還搭載有末端在位檢測傳感器，在運動過程中實時檢測晶圓盒在夾爪上的固定狀態(tài)，一旦在位檢測傳感器觸發(fā)，末端執(zhí)行器立即緊急停止作業(yè)。在抓取過程中，超聲波傳感器、視覺定位相機、在位檢測器等傳感器模塊將進行持續(xù)的實時監(jiān)測，只有三大模塊均無報錯情況，機械臂才會執(zhí)行相應(yīng)操作，保障晶圓盒上下料及搬運操作穩(wěn)定安全。在作業(yè)中，搭載晶圓盒運動的車體保持穩(wěn)定是關(guān)鍵。OW系列憑借過強的單機性能，有效避免搬運過程中出現(xiàn)振動等情況，同時配有激光雷達、3D視覺、坑洞傳感器等檢測設(shè)備，可避免更多突發(fā)情況的產(chǎn)生，最終保證了行駛時的穩(wěn)定可靠。

穩(wěn)定可靠

多重避障全向安全

OW系列車身對角線及豎直面分別配置激光雷達，360度水平面及垂直面障礙物實時監(jiān)測，構(gòu)建立體安全區(qū)域，3D視覺在激光雷達基礎(chǔ)上進行安全性補充，有效識別地面突起等障礙物，實時反饋車輛減速或重新規(guī)劃路線，從移動導(dǎo)航上來保證OW系列產(chǎn)品的平穩(wěn)運行。特制模塊避免風(fēng)險在半導(dǎo)體行業(yè)工廠里面，地板大小多為60×60的高架地板，地板的維修需要將地板拆卸出來，人工鉆進地板下進行檢修，OW系列晶圓搬運機器人配有專業(yè)的坑洞傳感器，有效檢測地板的實時狀況，避免車輛跌落至坑洞。三重防護可靠保障OW系列的激光雷達、視覺、坑洞檢測等模塊均為常閉型設(shè)置，某一模塊出現(xiàn)異常情況或無法正常啟用時，OW系列將不會執(zhí)行作業(yè)；只有所有模塊均正常運作，OW系列才會執(zhí)行作業(yè)，做到全方位的保障。

遇到突發(fā)情況時，OW系列的低電保護、斷網(wǎng)保護等多重防護保障作業(yè)“無憂”，根據(jù)客戶現(xiàn)場存在的更多現(xiàn)狀，OW系列產(chǎn)品還設(shè)有更多的特定功能模塊，保證了在諸多情況下產(chǎn)品的正常運作、物料的安全無恙。

優(yōu)艾智合長期深耕場景打磨產(chǎn)品，將復(fù)合移動機器人的安全、精準(zhǔn)、穩(wěn)定做到極致，為工業(yè)升級提供值得信賴的機器人生產(chǎn)力。

西安優(yōu)艾智合機器人科技有限公司是一家以機器人研發(fā)與制造為核心的創(chuàng)新型高新技術(shù)公司。優(yōu)艾智合具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的移動機器人核心算法，擁有大量業(yè)務(wù)場景無人化改造經(jīng)驗， 優(yōu)艾智合基于移動機器人，致力于提供智能制造，智能巡檢及維保等覆蓋全行業(yè)、全方位的產(chǎn)品和解決方案。

公司為合作伙伴提供移動機器人本體及相關(guān)集成解決方案。致力于為半導(dǎo)體及電子制造，飛機制造，汽車零配件等制造行業(yè)提供工廠自動化及場內(nèi)物流解決方案。為電力電網(wǎng)、能源冶煉、商業(yè)物業(yè)及公共交通等行業(yè)，提供巡檢及自動化維保解決方案。

優(yōu)艾智合機器人積極踐行企業(yè)使命—“機器人技術(shù)賦能場景變革”，堅持技術(shù)創(chuàng)新，場景革新，力爭成為機器人行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)。